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                超纯水处理

                2022-11-09 22:03:18

                超纯水制备.jpg

                半导体工业的电子芯片是我国的大宗进口商品,我国的芯片行业发展比较缓慢,近期国家的政策也倾向于大力发展自主性的半导体芯片。在半导体行业,超纯水不同于其他行业的超纯水的要求,有极其严苛的水质要求。

                超纯水(Ultrapure water)又称UP水,是指电阻率达到18 MΩ*cm25℃)的水。这种水中除了水分子外,几乎没有什么杂质,更没有细菌、病毒、含氯二噁英等有机物,当然也没有人体所需的矿物质微量元素,也就是几乎去〓除氧和氢以外所有原子的水。可以用于超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术的制备过程 

                超纯水处理:既将水中的导电介质几乎完全去除,又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水。电阻率大于18MΩ*cm,或接近18.3MΩ*cm极限值(25)

                超纯水处理,是一般工艺很难达到的程度,采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理四大步骤,多级过滤、高性能离子交换单元、超滤过滤器、紫外灯、除TOC装置等多种处理方法,电阻率方可达18.25MΩ*cm(25)

                在半导体产品制造过程中,很多电子元器件生产过程中需要大量超纯水,且对水质要求特别严苛。由于生产设备的精密性和◥生产工艺的复杂性,对◣其配套设施提出了很高的要求,尤其对作为半导体行业血脉的超纯水系统更是高之又高。半导体行业超纯水制造工艺可以概述为4个部分,分别为预处理部分、RO部分、电去离子部分和抛光混床部分;在有些半导体厂中, 也有用“阴床+阳床”代替电去离子装置的,主要根据原水水质和产水水质对弱电解质的要求而定。

                 产品优势

                1.避免传统离子再生耗费的大量酸碱,对环境更友好;

                2.克服传统离子设备再生周期相对较长;

                3.超滤反洗排水、一级RO浓水排水和CEDI浓水排水及其回收利用措施,利于节能减排;

                4.节约水资源及半导体制造单位的运行成本。

                产品应用

                预处理部分

                1.多介质过滤器+活性炭过滤器;

                2.粗过滤器+超滤装置。

                反渗透部分↓

                反渗透膜

                电去离子部分

                EDI模块和 CEDI模块。

                抛光混床

                 

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                技术支持:

                设备咨询前请完善我司工况调查表,以便我司工程师提供更完善♂的过滤方案!

                工况调查表

                 

                常见颗粒物尺寸大小;

                常见液体粘度资料及数据参考表;

                常用过滤设备-流体化学→适应性表;

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